半導(dǎo)體工件表面油污處理
半導(dǎo)體工件表面油污處理的方法包括：
用液態(tài)二氧化碳設(shè)備清洗。
1. 預(yù)處理：在進(jìn)行半導(dǎo)體工件表面油污處理前，先使用專用設(shè)備對工件表面進(jìn)行預(yù)處理，以去除表面的附著物，有利于后續(xù)清洗劑更好地滲透到工件表面，發(fā)揮出更好的去油污效果。
2. 前處理：將半導(dǎo)體工件表面朝上放置，使用銅刷輕輕刷洗工件表面，去除表面的浮塵和細(xì)小顆粒。然后使用高壓水槍將工件表面沖洗干凈，確保工件表面干凈無殘留物。
3. 處理劑涂抹：將一定比例的處理劑均勻涂抹在半導(dǎo)體工件表面，使處理劑充分滲透到工件表面，與油污發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
4. 超聲波清洗：將涂抹了處理劑的半導(dǎo)體工件放入超聲波清洗機(jī)中，加入適量的清洗劑，在超聲波的作用下，清洗劑能夠迅速滲透到工件表面，有效去除油污。
5. 漂洗和脫水：使用清水將半導(dǎo)體工件表面的清洗劑沖洗干凈，然后使用離心機(jī)將工件表面的水分甩干，確保工件表面干燥。
6. 熱風(fēng)烘干：使用熱風(fēng)機(jī)對半導(dǎo)體工件進(jìn)行烘干處理，以去除工件表面的水分，避免后續(xù)使用中出現(xiàn)銹蝕等問題。
以上步驟僅供參考，具體的處理方法需要根據(jù)污染物的種類和嚴(yán)重程度來選擇。如果需要更多信息，建議咨詢專業(yè)人士。
